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玻璃基板
激光诱导钻孔机 | LDR
玻璃基板激光诱导钻孔机 | LDR
应用领域
主要应用于异形构造玻璃;射频组件/光电元件/光掩模版/MEMS/玻璃基高密度基板;晶圆先进封装-玻璃间隔晶片;Mini/Micro LED显示面板玻璃衬底;折叠屏等进行激光诱导钻通孔、盲孔
产品特点
  • 定制皮秒/飞秒激光器,出光稳定

  • 激光飞行脉冲打点,同时兼容单点/旋切钻孔工艺,效率高

  • 集成优异的软件算法,自动优化激光打点及切割的路径及方向

  • 可兼容产品漏点视觉检测功能,提供产品漏点数据对接接口及预留检测工位,实行补点功能无缝对接

技术指标
激光器超快皮秒/飞秒激光
加工产品尺寸X/Y: 350×350mm 12寸玻璃晶圆
加工玻璃厚度100-1500μm
聚焦光斑直径<3μm
UPH≥5000孔/秒
平台定位精度≤±2μm
重复定位精度≤±1μm
视觉配置1000万像素