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激光诱导结晶
设备 | LIC
激光诱导结晶设备 | LIC
应用领域
非晶材料的激光结晶及原位杂质激活
产品特点
  • 全球首创,12寸量产设备

  • 高均匀性的全自主LIET光学系统

  • 低至5mJ/cm2的能量密度调控精度

  • nS级精确脉宽控制

型号LA2540G
激光波长527nm
晶圆尺寸12寸
能量密度调控精度5mJ/cm2
光斑顶部不均匀性率≤1%
焦深范围5mm
工艺效果一次扫描完成结晶和激活工艺